第311节（2 / 2）

这时旁边的罗长辉也忍不住说：“徐教授的光刻胶确实解决了我们很大问题。”

徐昀听着两人给自己戴高帽，心里也是哭笑不得。

当即开口回应道：“毕竟是新型光刻胶，具体能否达到稳定的效果，暂时还不得而知呢。”

他这话自然不是谦虚。

这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试，且目前生产出来的存量也有限，很多地方确实需要看最终结果。

比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。

如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大，那就算光刻胶成本很低，也绝对不会继续使用。

这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。

基本晶圆厂绝对不会冒险。

否则所造成的损失将直接影响到利润。

侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任，闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道：“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天，要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。

随即光刻机将极紫外光通过镜片，照在前面准备好的集成电路掩膜版上。

将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。

后面则需要溶解光刻胶。

使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。

清除后留下的图案和掩模上的一致，再进行蚀刻。

尽管到这一步已经非常繁琐，可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数，直至制造出布满芯片的晶圆。

虽然这个等待的过程比较枯燥，徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。

在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。

并丢弃瑕疵芯片。

余下芯片经过封装再次测试后，便能包装发货。

把整个流程全部跟下来，可以确定光刻机的各项功能和运行都没有问题，在设计时的理想参数范围内。

虽不知道长期运行后会有什么变化，起码现在通过了测验。

接下来则只需要确定芯片的瑕疵率，以及生产出的芯片最终性能。

如果都没有问题的话，便能够正式对外界宣布首台国产极紫外光刻机交付。

相信解释肯定会引起全球的轰动。

“拿到最终芯片测试数据还要等些时间，院长还是先去休息室吧。”

徐昀稍微松了口气，特意对身旁的侯盛昌说。

眼下该看的东西都已经看完，接下来光刻机也会自行运转工作，倒没必要继续留在原地等待。

“放心吧院长，肯定不会有问题的。”闻言旁边的罗长辉也接过话茬附和道。

侯盛昌年纪虽然在这放着，可面对让人魂不守舍的极紫外光刻机，他宁愿多驻足会欣赏这个大家伙。

可想到结果出来还要些时间，而他刚好有其他事情告诉项目组，便不再迟疑当即点头答应下来。

“那好吧。”

随着侯盛昌松口，在徐昀的带领下便一起前往不远处的休息室。

由于其他人还要盯着主控系统记录数据，此刻休息室内除了徐昀和侯盛昌外，只有罗长辉院士和杨靖研究员两个人。

国产极紫外光刻机进展迅速，眼看就能正式交付使用制造芯片。

这使得大家的心情都很不错，连带休息室的氛围都轻松了不少。

“这次可要好好看看海外那些家伙的脸，无论如何他们也不会想到我们的进度会这么快。”

“等我们宣布这个消息，相信全球都会动容的。”杨靖这时接过罗长辉的话微笑着补充了句。

身边侯盛昌也是满脸笑容：“这一天的到来确实很值得期待。”

“已经不远了。”

心情从来没有像今天这么高兴。

听着众人的谈话，徐昀要说不高兴那绝对是假的。

不过说实话他的心思却不在这上面。

国产极紫外光刻机的研发成功已经是板上钉钉，基本不会出现什么状况。

可以说他是否继续留在锦城都已经无所谓了。

按照他的计划，是等光刻机测试结束后，便立刻返回京州市。

这几个月时间内他虽说经常回京州陪陈诗禾，但总共时间并不算多。

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